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日本液空PPB級微量氧分析儀在半導體痕量氧測試中的應用|埃登威自動化系統設備（上海）有限公司

日本液空PPB級微量氧分析儀在半導體痕量氧測試中的應用

應用
●工業氣體中氧濃度的測量?空分裝置的氣體純度監測和控制?產品氣體的氣體純度監測
?氣體凈化器的驗證
●不同工藝的氧濃度測量
?覆蓋氣體的氧氣監測和控制
●熱處理爐氧濃度的監測和控制

反應堆
使用前注意事項
●務必使用不銹鋼管或銅管作為取樣管線。
●樣品氣體入口壓力必須在49至294kPa（G）之間。?如果壓力低于49kPa（G），則使用泵。
?如果壓力高于294kPa（G），則使用調節器。
●灰塵和濕氣日本液空PPB級微量氧分析儀在半導體痕量氧測試中的應用
?灰塵不得超過5μm。
?水分露點必須低于-10℃。
●確保分析儀出口處的廢氣在大氣壓力下獨立排放。
氣體出口管線中的壓降或背壓應小于±980Pa（G）。
●不相容氣體（對測量產生不利影響的氣體）
?酸性氣體、鹵素化合物、重金屬腐殖質、，
有機溶劑等。
※本分析計の保証範囲は、納入品に限定し、納入品の故障に起因する損害、事故の補償は致しかねます。予めご了承下さい。
※本分析儀的保修范圍**于產品本身，制造商不應對由此造成的任何損害進行賠償。
AAK00014 201605/1000/ALJIM/M
米×英寸シリーズ日本液空PPB級微量氧分析儀在半導體痕量氧測試中的應用
ハーシェ型ガルバニ電池式微量酸素分析計
Hersch電池式微量氧分析儀
用途
● 各種産業ガス中の酸素濃度管理 ?空気分離裝置の純度管理及び制御
型號，型號
MXN/Y MXN/S
原理打印機
哈謝型伽伐尼電池式Hersch Galvanic-cell
結構設計
面板組裝、桌上兼用型Panel-mounting/Bench-top
可測量樣品氣體
N2, Ar, He, H2, Ne, CO, CH4, C2H4, C2H6, C3H6, C3H8, etc.
測量范圍
0-10ppb~0-10000ppb之間1范圍任意設定（※精度保證在0~50ppb以上的范圍）0-10ppb to 0-10000ppb，one usre-settable range（accuracy guaranteed for a0~50ppb or high er range）
在0-0.1ppm到0-100ppm之間任意設定一個范圍（※精度保證在0~0.5ppm以上的范圍）0-0.1ppm到0-100ppm，one usre-settable range（accuracy guaranteed fora0~0.5ppm or high er range）
*小檢測靈敏度低檢測限制日本液空PPB級微量氧分析儀在半導體痕量氧測試中的應用
0.5ppb（0-50ppb范圍）0.5ppb（0-50ppb range）
10ppb（0-0.5ppm范圍）10ppb（0-0.5ppm range）
可重復性（精度）
±2.0%F.S.以內within±2.0%F.S。
穩定性（零）
±5.0%F.S.以內/24h within±5.0%F.S./24h
測量氣體流量采樣流量
100 ml / min. 133 ml / min.
測量氣體壓力Sample Gas Pressure
49~294 kPa (G)
氣體入口接頭Sample Gas Inlet
6.35mm VCR公（male）6.35mm SWAGELOK
氣體出口接頭Sample Gas Outlet
6.35 mm SWAGELOK
記錄儀輸出Analog Output
DC0-20/4-20mA（DIN5P）絕緣輸出max.750Ω
DC 0-20 / 4-20mA (DIN 5P) max. load 750Ω (isolation)
外部接點外部接點
開路集電極（NPN）DC5~35V max.100mA
open collector (NPN) DC 5 to 35V max. 100mA
警報觸點Alarm Contact
兩點two points
通信端口通信
RS232C (9P)
數據存儲器
1~60分鐘（1分鐘間隔）、1~24小時（1小時間隔）全500數據
1 to 60min. (1min. intervals), 1 to 24hr (1hr intervals) up to 500 data
電源/功耗/消費
AC 85~250V / 15W
環境溫度、濕度Ambient Temp./Humidity
10~35°C ± 3°C / 24hr, RH 20~80% 10~35°C ± 5°C / 24hr, RH 20~80%
尺寸、重量Dimensions/Weight
335(W)×425(D)×335(H) mm / 15 kg
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