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Meeco微量水分析儀Servomex微量氧分析儀DF-310E在半導體電子氣中|埃登威自動化系統設備（上海）有限公司

Meeco微量水分析儀Servomex微量氧分析儀DF-310E在半導體電子氣中的應用


我們都知道，高純氣體是集成電路、光伏、光纖等行業的重要基礎材料。在大規模集成電路芯片生產過程中，氣體中的氣態、液態和固態雜質會對芯片質量產生重要影響。由于氣體中微量氧和水的存在，高溫合成的半導體器件表面容易形成氧化膜，這是影響器件壽命和性能的重要因素。


例如，外延生長是生產高質量集成電路的重要步驟，沉積層的雜質水平、厚度和微結構完整性取決于沉積工藝中所用氣體的純度。當氣體中雜質過多時，外延層會形成“暗礁”，產生晶格缺陷等后果。因此，高靈敏度的氣體檢測在半導體制造中顯然是必要的，這樣的關鍵設備能夠國產化是非常可喜的。我們也希望更多的高科技設備能夠被國產設備所取代，這將有助于當地半導體行業向上發展。
Meeco微量水分析儀Servomex微量氧分析儀DF-310E在半導體電子氣中的應用

凈化氣體產品可為許多半導體加工設備如晶體生長、外延、氧化、擴散、CVD、MOCVD、PECVD等提供超高純度的工藝氣體。需要測量生產超高純氣體和電子氣體，以及低濃度標準氣體和混合氣體的制備。用于TIG軌道焊機氬氣的凈化和超高純氣體管道施工中氮氣的檢查和吹掃；需要測量凈化超微量水氧分析儀、氣相色譜儀(GC)、大氣壓離子質譜儀(APIMS)等各種氣體分析儀器中的載氣或零點氣體。


Servomex微量氧分析儀DF-310E特性
非消耗性傳感器，5年保修
工廠校準Meeco微量水分析儀Servomex微量氧分析儀DF-310E在半導體電子氣中的應用
快速響應，從異常工作條件中恢復的時間短。
一種儀器適用于測量各種背景氣體。
高穩定性，每年只需校準一次量程。無需定期更換已編程的測量單元。
低持有成本
檢出限低，精密度高。

Servomex微量氧分析儀DF-310E應用條件
電源:22- 28V直流，110V交流1A(*大)或220V交流50/60Hz，*大功率35W。
零氣體:無要求
范圍氣體:工作范圍內O2和N2的任何混合氣體


AquaVolt+的應用
AquaVolt+為以下場合提供準確的在線濕度監控:
l工業生產中的工藝氣體
l產品凈化過程中不同階段產生的工業氣體
l氣罐填充操作
l氣動系統中的儀表氣源
aquavolt+是一種焊接保護氣體，除上述應用外，還可用于以下情況:
半導體生產
特殊氣體的應用。
l可移動手推車
l科學研究
工作原理:根據法拉第電解定律，AquaVolt的傳感器吸收并電解濃度為百萬分之一(ppm)或十億分之一(ppb)的水分。方法是:所有樣品水分被覆蓋在兩個螺旋電極上的P2O5薄膜吸收。電極放在一個空玻璃管中。當樣氣以已知流速進入電解池時，膜將吸收所有水分分子。在電極上施加電壓后，每個水分子被電解，從而產生有限的電流。該電流是**的，并與吸收的水的分子量成比例。因此，這是測量樣氣中水蒸汽含量的一種準確而直接的方法。
特點:Meeco微量水分析儀Servomex微量氧分析儀DF-310E在半導體電子氣中的應用
模塊化設計:在一個19英寸的封裝中有一個或兩個模塊化單元。剩余空間可與安裝架靈活配置，以適應各種氣體樣品的檢測。
可快速升級的軟件:模塊單元的軟件可通過RS232接口輕松升級。
計量單位:基于微處理器的電子電路可以顯示ppbV、ppmV、ppmW或攝氏和華氏露點。
五鍵用戶界面:模式/確認鍵和簡單的上、下、左、右四個鍵，使菜單操作快捷簡單。
熒光顯示:明亮易讀的顯示屏可直接現場顯示數據，控制參數可現場設定。
輸出可調:輸出檔位可在現場靈活變換。不需要更換電子元件或觸摸內部元件。只需通過模式/確認鍵操作菜單，選擇輸出檔位。
流量控制:從主菜單中選擇樣氣后，微處理器自動將流量控制器調整到適當的控制點。
在線驗證:通過簡單的Delta流程可以方便地檢查電解槽的工作狀況。在線檢查傳感器的線性度和工作性能。實驗室


埃登威公司我們服務的領域很廣泛，覆蓋了半導體、LED、計量院、微電子、氣體廠、鋼廠、化工等。經過多年運作，已經和液化空氣集團、普萊克斯、林德、寶鋼、亨通光導、上海至純科技、三安光電、梅塞爾等行業公司保持長期的互信合作。

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