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Michell Pura高純氣體露點(diǎn)儀可以測(cè)量ppb級(jí)別微量水用于半導(dǎo)體|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

Michell Pura高純氣體露點(diǎn)儀可以測(cè)量ppb級(jí)別微量水用于半導(dǎo)體


 --專為高度純凈的氣體應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量微量濕度而設(shè)計(jì)的經(jīng)濟(jì)型變送器，埃登威價(jià)格超低。
結(jié)構(gòu)堅(jiān)固的自給式濕度計(jì)。

在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對(duì)于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測(cè)量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。 主營(yíng):微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點(diǎn)儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計(jì),OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗(yàn)證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點(diǎn)儀,干燥機(jī)露點(diǎn)儀,激光氣體分析儀,便攜式露點(diǎn)儀,便攜式微量氧分析儀

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。 Michell Pura高純氣體露點(diǎn)儀可以測(cè)量ppb級(jí)別微量水用于半導(dǎo)體



亮點(diǎn)

測(cè)量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV) 
測(cè)量穩(wěn)定，重復(fù)性好 
高度集成的采樣裝置 
模擬和數(shù)字輸出 
安裝簡(jiǎn)便 
VCR 過程接口 
設(shè)計(jì)緊湊小巧 主營(yíng):微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點(diǎn)儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計(jì),OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗(yàn)證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點(diǎn)儀,干燥機(jī)露點(diǎn)儀,激光氣體分析儀,便攜式露點(diǎn)儀,便攜式微量氧分析儀
顯示/報(bào)警單元可選 
PuraMichell Pura高純氣體露點(diǎn)儀可以測(cè)量ppb級(jí)別微量水用于半導(dǎo)體
技術(shù)指標(biāo)

傳感器 
傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器
量程 -120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)
精度 ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;Michell Pura高純氣體露點(diǎn)儀可以測(cè)量ppb級(jí)別微量水用于半導(dǎo)體
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)主營(yíng):微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點(diǎn)儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計(jì),OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗(yàn)證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點(diǎn)儀,干燥機(jī)露點(diǎn)儀,激光氣體分析儀,便攜式露點(diǎn)儀,便攜式微量氧分析儀
分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力 *** 10-9 torr;  24 MPa 
氣體流量 1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源 通常 24 V DC, ***10 V ~ 28 V , 電流 25 mA
輸出 4-20 mA 輸出, 對(duì)應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯(cuò)狀態(tài) 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機(jī)械性能 ?
傳感器套筒 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra ?m 電鍍內(nèi)拋光主營(yíng):微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點(diǎn)儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計(jì),OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗(yàn)證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點(diǎn)儀,干燥機(jī)露點(diǎn)儀,激光氣體分析儀,便攜式露點(diǎn)儀,便攜式微量氧分析儀
?
氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口 
安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長(zhǎng), 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對(duì)面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中 
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180gMichell Pura高純氣體露點(diǎn)儀可以測(cè)量ppb級(jí)別微量水用于半導(dǎo)體
包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸主營(yíng):微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點(diǎn)儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計(jì),OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗(yàn)證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點(diǎn)儀,干燥機(jī)露點(diǎn)儀,激光氣體分析儀,便攜式露點(diǎn)儀,便攜式微量氧分析儀
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作
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應(yīng)用

半導(dǎo)體/電子業(yè)


更多Michell Pura高純氣體露點(diǎn)儀可以測(cè)量ppb級(jí)別微量水用于半導(dǎo)體信息請(qǐng)直接致電埃登威上海021-55581219

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